Preparation of Y123 films by coating-pyrolysis process using fluorine-contained neutral solutions
産総研
@真部高明,山口 巖,土屋哲男,中村 進,水田 進,熊谷俊弥
トリフルオロ酢酸(TFA)塩溶液を用いた塗布熱分解法で作製したY123薄膜が極めて高いJcを有することが報告され注目を集めている。我々は、厚膜形成に適したTFA代替新規塗布溶液の探索と、それを用いたY123膜作製を試みた。作製したアセチルアセトナート系含フッ素錯体溶液は中性であるため、耐酸性の弱い各種支持体（例えばMgO）上への製膜が可能である。また塗布-熱分解工程を繰り返した場合に溶液が下地膜を部分溶解することが無いため、重ね塗りによる厚膜形成が容易である。また、急速加熱(RTA)熱分解によっても平滑な表面を保持するといった、TFAに無い特長を有している。実際、この溶液を用いて各種基板上にエピタキシャルY123膜を作製することができた。