塗布熱分解法により作製した仮焼成膜の成分分布評価

Ingredient distribution evaluation of precursor film prepared by dipping-pyrolysis process

熊本大学^A,熊本県工技センター^B

@寺本勝成^A,吉永陵馬^A,藤吉孝則^A,宮川隆二^B

　 超伝導薄膜作製法として有力な方法のひとつに塗布熱分解法（dipping-pyrolysis process）がある。これは高真空系を必要とせず、また簡便で低コストな作製方法である。この作製法では、仮焼成工程によりY、Ba、Cuの有機酸塩をY₂O₃、BaCO₃、CuOを成分とする混合物膜とするが、その熱処理条件により各成分について膜の深さ方向に偏析が見られることがXPSの評価によりわかった。特にCuOについての偏りが大きいため、熱処理条件を変化させ偏析を抑えられるような方法を検討した。