BaF2を含んだ前駆体膜の減圧酸素中の熱処理によるYBCO膜の作製−高速反射電子線回折像の観察−

Preparation of YBCO films by post-annealing of precursor films including BaF2 at low pressure of oxygen atmosphere −Observation of reflection high energy electron diffraction (RHEED)−

電力中央研究所^A,物質・材料研究機構^B,東海大学^C

@一瀬　中^A,菊池章弘^B,太刀川恭治^C,秋田　調^A

　 Y、BaF2、Cuを原料に用いてYBCO膜の前駆体膜を室温で作製した。結晶化のための熱処理は減圧酸素中で行い、純酸素のみを導入し、水蒸気等は導入しない。この作製方法は減圧中の熱処理のため、高速反射電子線回折像の観察が可能である。したがって、試料の昇温から高温で保持している間、試料表面からの反射電子線回折像を観察した。反射電子線回折像の観察およびX線回折測定により、YBCO膜の形成はアニール温度に達する以前の昇温過程から起きていることがわかった。