1.5 MPa まで加圧された超流動ヘリウム中におけるシリコン圧力センサーの特性

Characteristics of silicon pressure sensor in superfluid helium pressurized up to 1.5 MPa

物質・材料研究機構

@前田実,佐藤明男

　 フジクラ製シリコン圧力センサー（FPS 51) が超流動ヘリウム中における 圧力測定素子としても最適であることは高エネ研の春山らによって報告されている。 すでに加圧超流動ヘリウム冷却超伝導マグネットのクエンチモニターとしても使用されている。 しかし, 春山らが明らかにした特性は, その用途から 0.17 MPa までであった。 今後, 加圧超流動ヘリウムの実験等で0.2 MPa以上に加圧を行う場合, その場測定用素子として有用性かどうかを評価するため, 我々は, このセンサーを超流動ヘリウム（約 1.7 K）に浸し, 1.5 MPa まで加圧して, その特性を測定した。