Bi2223超伝導厚膜を電極としたBa(Sn,Mg,Ta)O₃同軸共振器の作製

Fabrication of Ba(Sn,Mg,Ta)O₃ Coaxial Resonator using Bi2223 Thick Films as Superconducting Electrodes　

（株）村田製作所^A,豊橋技術科学大学^B

@金高祐仁^A,大地宏明^A,松井則文^A,太田昭男^B

　 誘電率が24の低損失誘電体であるBa(Sn,Mg,Ta)O₃にBi2223厚膜を形成して、マイクロ波フィルタ用の同軸共振器を作製した。その結果、共振周波数2GHz、動作温度70Kにおいて無負荷Q=60,000以上のものが得られた。