YBCO膜を用いた2GHz帯MSL型共振器の高周波特性

RF properties of 2GHz band MSL resonators with YBCO films　

富士通研

@赤瀬川章彦,山中一典 ,中西輝

　 YBCO膜を用いた2GHz帯MSL型共振器の高周波特性の膜質による違いについて報告する。強いc軸結晶配向したYBCO膜をMgO基板の両面に形成した複数のマイクロストリップライン型の共振器試料において、無負荷Ｑ値と膜厚ｔ／磁気侵入長λの間で正の相関が見られたが、Ｑ値や磁気侵入長が変化する要因としてYBCO膜面内配向等の材料微細構造の影響があげられる。磁気侵入長は、膜面内の結晶性に依存する傾向が見られた。