超電導磁気分離による半導体加工工場廃液処理

Ｒｅｃｏｖｅｒｙ of Abrasives from Wasted Surry by Superconducting

阪大工，岡大^A，京都工繊^B，TKX^C

@西嶋茂宏，武田真一^A，中平敦^B，堀江進一^C

　 太陽電池の加工工場から排出されるスラリーの磁気分離を実施し，スラリー中に存在すると粒を，超電導磁気分離を使用して再利用することを試みている．担磁の手法を確立したが，担磁砥粒の加工速度が遅く，実用に供することが出来なかった．そこで，分離対象を変更し，加工精度が劣化したと粒を分離し，再利用することを試みた．