誘電体基板上スクリーン印刷Bi2223超伝導厚膜のマイクロ波特性と微細構造

Microwave Properties and Microstructure of Screen-Printed Bi2223 Thick Films on Ba(Sn,Mg,Ta)O₃ Dielectric Disk

豊橋技術科学大学^A,(株)村田製作所^B

太田昭男^A,@加藤範洋^A,金高裕仁^B

　 比誘電率ε_r=24の実用誘電体セラミックスBa(Sn,Mg,Ta)O₃のディスク状基板上下面にスクリーン印刷Bi2223超伝導厚膜を直接成膜することでTM₀₁₀モード誘電体共振器を作製し、共振器のマイクロ波特性の測定および超伝導厚膜の微細構造の観察を行った。