回転成膜ＰＬＤ法によるサファイア単結晶基板上HoBCO膜

HoBCO thin films on sapphire substrates using two- dimensional rotat ion PLD method

住友電工^A,Super-GM^B

@大松一也^A,母倉修司^A,村中康二^A,藤野剛三^A,武井廣見^A,小沢保夫^B

　 パルスレーザ蒸着法を用いて大面積上に均一な薄膜を形成可能な回転成膜法により超電導大面積膜を開発している。本方法でサファイア単結晶基板上に作製した３cm×７cmのHoBCO超電導膜で、1MA/cm2（７７K）以上の高Jcを有す膜が作製できた。