２次元揺動ＰＬＤ法によるサファイア単結晶基板上HoBCO膜

HoBCO thin films on sapphire substrates using two- dimensional scanning mechanism PLD method

住友電工^A,Super-GM^B

@母倉修司^A,大松一也^A,武井廣見^A,小沢保夫^B

　 パルスレーザ蒸着法を用いて大面積上に均一な薄膜を形成するために新規に２次元揺動法による成膜装置を導入した。本機構では、成膜領域に２次元方向にプルームをスキャンすることにより均一な成膜を行う。装置はエキシマレーザと成膜チャンバーから構成され、3cm×10cmの大面積試料の作製が可能である。この２次元揺動法を用いてサファイア単結晶基板上にHoBCO超電導層を成膜した。