TFA-MOD法によるY123線材の厚膜化の検討(2)

Fabrication of thicker Y123 films for coated conductor by TFA-MOD method(2)

SRL,東工大^A, フジクラ^B

@富士広,本庄哲吏,中村雄一,和泉輝郎,塩原融,寺西亮^A,吉村昌弘^A,飯島康裕^B, 斉藤隆^B

　 TFA-MOD (Metal Organic Deposition)法は、非真空プロセスで低コストであることから、RE系超電導テープ線材の成膜方法のひとつとして期待されている。今回、マルチコーティング法を用いて、単結晶上での厚膜化の検討を行い、これを金属基板上に適用した。その結果、CeO₂/YSZ（IBAD法）/ハステロイ上において、膜厚１μmでIc*（77K、0T）=153A/cm-width, Jc（77K、0T）=1.6MA/cm²を有するYBCO膜の厚膜化に成膜に成功したので報告する。