塗布熱分解法によるYBCO膜の臨界電流

Critical Current of YBCO Film Prepared by Coating-Pyrolysis Process

電中研,産総研^A,東芝^B,Super-GM^C

@鳥居慎治,秋田調,真部高明^A,熊谷俊弥^A,久保田宏^B,和智良裕^C

　 低コスト化が可能な化学溶液プロセス(塗布熱分解法)を用い，直径2インチのLaAlO3基板上にYBCO膜を作製した。誘導電流法による臨界電流密度分布を測定した結果，2MA/cm2程度の従来より均一度の高い膜が得られたことが明らかとなった。また，四端子法による臨界電流値を測定した結果，誘導電流法で得られた結果とほぼ同じレベルの臨界電流が実測され，誘導電流法と四端子法による結果の相関を示唆するとともに，今後検討すべき課題を抽出した。本研究は経済産業省産業技術環境局のプロジェクト「交流超電導電力機器基盤技術研究開発」の一環として，新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)からの受託により実施したものである。