山形大学工学部
@高坂大介,稲童丸桃子,楠正暢,向田昌志,大嶋重利
酸化物高温超伝導薄膜の表面抵抗を精密に測定、評価する方法として誘電体共振器法が多く用いられている。試料の冷却には冷凍機を用いた装置が多い。しかしながら、この方法では測定に時間がかかること、一定温度での測定が困難なことなどの問題点がある。我々は冷却に液体窒素を用い、その中に直接誘電体共振器を入れて薄膜の表面抵抗を測定、評価する装置を試作した。 ２インチ丸ＹＢＣＯ薄膜の無負荷Ｑ値、挿入損失、表面抵抗の値を、真空中で測定した場合と液体窒素中で測定した場合について調べ、それらの比較、検討を行った。 今回は測定精度の向上について検討した結果を報告する。