塗布熱分解法による大面積Ｙ123超電薄膜の両面製膜とその特性分布評価　　　　

物質工学工業技術研究所^A,千葉工大^B,ダイキン環境研^C
熊谷 俊弥^A,真部 高明^A,山口　巌^A,近藤 和吉^A,渡辺 知宏^B,今井 文一^C,村山 恭平^C,水田　進^A