Characterization of NBCO micro bridge junction prepared by laser patterning
八代高専,鹿児島大工A
@毛利 存,Zulhairi Bin Zulkifli,土井 俊哉,肥後 悟,白樂 喜則
KrFエキシマレーザ加工により、MgO基板上にスパッタ成膜したNBCO薄膜を微細加工し、幅10〜1μmのマイクロブリッジ接合を形成した。高エネルギーのレーザ照射による薄膜へのダメージを最小にするための加工プロセスについて検討した。さらに、ブリッジの液体窒素温度における電流-電圧特性、マイクロ波照射による効果について調べ、接合としての特性を評価した。