Preparation of YBCO superconducting films using YF3 source without water vapor
電中研,金材技研A,東海大B
@一瀬 中,菊池章弘A,太刀川恭治B,秋田 調
Y, BaF2, Cuを蒸発源に用いて、室温で超電導膜の前駆体を作製し、その後、水蒸気を導入せず、真空中で酸素を流しながらアニールすることにより、SrTiO3基板、Y2O3膜を蒸着したSrTiO3基板上にTc〜90Kのc軸配向YBCO膜が作製できることを前回報告した。この作製方法では、前駆体をアニールする際に大気中に取出す必要がないため、フッ化物をBaF2以外の原料に置き換えることが可能である。そこで、BaF2を用いず、蒸発源にYF3, Ba, Cuを用いて、前回と同様にSrTiO3基板上、Y2O3膜を蒸着したSrTiO3基板上に超電導膜を作製した。YF3を原料に用いて作製した超電導膜の特性について報告する。