2段LPE法による金属基板上へのRE123超電導層の成膜

Fabrication of RE123 superconducting layer by double LPE method

超電導工学研究所
@中村雄一,保原夏朗,泉徹,甲斐正彦,Yao Xin,浅田繁信,和泉輝郎,塩原融

MgOあるいはNiOを中間層として成膜した金属基板上にRE123相をLPE成長させる場合、その中間層元素を含んだ種膜を気相法により成膜した後、中間層元素で飽和させた溶液から123層を成膜することにより、飽和LPE相を安定に成膜することができた。また飽和LPE相はTcが低いため、飽和LPE相を種結晶として不純物を含まない123相を比較的低温の溶液からLPE成長させることにより、2段LPE層の成膜を行った。そのLPE膜の超電導特性について報告する。