高Tc a軸配向YBCOスパッタ薄膜の作製

日大理工、電総研A

市川　真仁, 寺田　教男A, 伊原　英雄A, @山本　寛

　高Tcをa軸配YBCO膜でも実現する事ができ、そのスパッタ膜作製条件の確立に成功した。