レーザ干渉計と小型冷凍機により構成される低温用線膨張率絶対測定装置の開発を行っている。今回は、１０〜３２０Kの温度範囲における単結晶シリコンの線膨張率の測定を行い、CODATAによる推奨値との比較を行った。その結果、本装置での測定結果は推奨値と良い一致を示すことが明らかとなった。