我々は、これまでMOCVD法によるYBCO膜の作製において、成膜中に液相が存在すること、その液相を制御することによりYBCO膜の成膜速度が速くなることを確認した。本研究では、このVLS(Vapor-liquid-solid)モードを積極的に用いたYBCO膜の作製を行い、さらに得られた膜の配向性について評価したので報告する。