Bi系傾斜薄膜の作製

電通大

@守屋雅隆,岡本尚志,後藤俊成,小林忠行


 横型の固有接合を実現することを目的として、Bi系2212傾斜薄膜を作製し、その特性を評価した。基板面に対して結晶軸の傾いたSrTiO3基板上に、直流スパッタリング法によってBi系2212薄膜を堆積した。X線回折によって結晶構造を調べた結果、基板の結晶軸と同じ方向にc軸が傾斜していることが確認された。また、堆積温度を変化させた結果、抵抗の温度依存性から臨界温度は最高で約66Kが得られた。