E1-13
スクリーン印刷Bi2223厚膜の高周波特性と微細構造
豊橋技術科学大学
Ａ
，（株）村田製作所
B
，
＠山下周平
A
，田中実
A
，立川勉
B
，松井則文
B
，金高祐二
B
，太田昭男
A
我々はスクリーン印刷法により銀基板上にBi2223厚膜を制作し、高周波特性と微細構造について調べた。Bi2223厚膜の表面抵抗（Rs）は両端短絡型誘電体共振器法（共振周波数10.7GHz）を用いて測定し、微細構造はSENとXRDを用いて評価した。表面抵抗（Rs）と微細構造の関係について報告する。