D3-1

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Nb3Al薄膜スパッタ用ターゲット
電総研,（株）フジクラ ^A
@我妻 洸,立石 裕,新井和和,斉藤 隆^A,二木直洋^A

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　我々はNb3Snを用いたこの繊維強化型超電導線（FRS）を開発してきた。この繊維強化型超電導線は高弾性率のファイバーを強化繊維として用いているため、従来の複合加工法による伸線加工法が適用困難である。従って、その作成にはスパッタ法が用いられている。 機械的特性（特に歪み特性）に優れ、また耐放射線損傷に優れた特性を示すNb3Alを用いた繊維強化型超電導線（FRS）をスパッタにより試作することを試みた。粉末冶金法を応用して、ＲＦマグネトロンスパッタ用Nb3Al単体ターゲットの開発を試み、このターゲットを用いて、Nb3Al薄膜の作製を試みたので報告する。