D1-18
低温用走査型SQUID顕微鏡の開発
Seiko Instruments Inc.
@小田原成計,師岡利光,池田正徳,田中俊一,中山哲,茅根一夫
微小検出コイルを有するSQUID顕微鏡用デバイスを開発し、冷却方式の異なる２種類の低温用走査型SQUID顕微鏡の開発を行った。２機種のサンプル温度可変領域はそれぞれ1.8k〜4.2kと4.0k〜200kで、全温度領域においてNb系SQUIDを用いた磁場分布計測が可能である。直径10μmの検出コイルを備えたSQUIDの性能は、磁束分解能7μΦ<SUB>0</SUB>/√Hzで、2.5μmの電流パターンが識別可能である。本装置の構成とサンプル測定結果、そして本装置の低温用原子間力顕微鏡への応用について報告する。