B1-14
CVD法によるYBCOテープ導体の開発(6)
フジクラ,中部電力A
＠尾鍋和憲,長屋重夫A,定方伸行,斉藤隆
YBCOテープの合成速度高速化を図るために、3つの反応室をシリーズに配置したトリプルリアクタ開発を行った。本研究では、nヶの反応室にてYBCO多層合成を連続的に行うことで、従来リアクタ(1つの反応室)の場合に対してn倍の合成速度(あるいは膜厚)を実現することが目標である。今回は、YBCOテープの合成速度改善に関するこれまでの研究経緯を報告するとともに、トリプルリアクタで合成したYBCOテープの特性について述べる。