E1-28
高出力・低汚染型プラズマ溶射ガンにより厚み15〜150μmのBi₂Sr₂CaCu₂O_x膜を作製し，膜厚及び熱処理条件が超伝導特性に及ぼす影響について調べた。その結果，部分溶融状態（部分溶融温度890K）から徐冷熱処理を行った厚み15μmの膜は，2212相の結晶が基板に平行して積層し，また，64KでのJcも7,200 A/cm²と高く，配向化がかなり進んだ膜であることが分かった。