我々は、比較的低温で作成可能なNbAl3とNbの混合粉末からNb3Al用のRFスパッタターゲットの試作をしたことを、すでに報告してきた。しかし、臨界温度が低く、改良が必要であった。今回はNbとAlの混合粉末に熱処理を施しまずσ相（Nb2Al)を作成し、これを粉砕した粉末とNbの粉末を混合し熱処理を施しRFスパッタ用ターゲットを作成した。この結果について報告する。