低温装置の材料において、その機械的性質、比熱、熱伝導度などが問題になる。我々は、その機械的性質の１つである熱膨張率の測定法として、ＥＳＰＩ（電子スペックルバターン干渉法）を用いる方法を示し、その実験結果と現在公表されている値とを比較し、その精度や問題点を評価する。また、その応用として材料形状を変更して測定した結果も示す予定である。試料板としては、SUS304,SUS316,Ti,Al合金を用いた。