軸配向したNiテープ上に、電子ビーム蒸着法を用いてY₂O₃バッファー層の成膜を試みた。蒸着雰囲気の真空度を制御することにより、Niを酸化させないで2軸配向したY₂O₃を容易に成膜することが出来た。今回のY₂O₃バッファー層の上に成膜したYBCO膜についても報告する。