スパッタ法によりSTO(100)基板面上にNdBaCuO薄膜の作製を検討した．基板温度，酸素圧力を調整することによりNd123相の生成を確認することができた．特に，作製時の圧力はNd123相のc軸格子定数に影響を及ぼし，薄膜のTcを変化させている．いくつかの薄膜でゼロ抵抗温度が92Kを超えるものを得た．