基板傾斜法（ISD法）によって、ハステロイ基板上にYSZバッファー層を設けて作製したYBCO薄膜の自己磁界交流損失測定結果について述べる。面内配向度に起因するJcの違い、膜厚の違いによる交流損失電流依存性への影響について報告する。