デュアルビームによるレーザースクライビング加工の速度向上

Increase of speed of laser scribing process by dual beam

町敬人, 衣斐顕, 和泉輝郎（産総研）

Abstract:エキシマレーザーのビーム強度分布をホモジナイザーを用いて均一化することによって，複数の長方形ビームを同時に照射することができればレーザースクライビングの加工速度を向上させることができる。今回は，光学マスク上でのビームの均一幅を３倍以上広げることによって２本の長方形ビームを照射して加工速度を向上させた結果を報告する。